реактивное ионное травление

реактивное ионное травление

 

реактивное ионное травление
 Разновидность плазменного травления, при котором полупроводниковая подложка во время травления помещается электрод, питаемый ВЧ мощностью. Подложка приобретает потенциал, которым ускоряются травящие реагенты, извлеченные из плазмы по направлению к протравливаемой поверхности; реакция химического травления при этом происходит преимущественно в направлении, перпендикулярном к поверхности, то есть травление более анизотропно, чем при плазменном травлении, но менее избирательно; происходит повреждение протравливаемой поверхности; наиболее распространенный режим травления при производстве полупроводников.
[http://www.cscleansystems.com/glossary.html]

Тематики

  • полупроводниковые приборы

EN

  • RIE


Справочник технического переводчика. – Интент. 2009-2013.

Игры ⚽ Поможем решить контрольную работу

Смотреть что такое "реактивное ионное травление" в других словарях:

  • реактивное ионное травление — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • глубокое реактивное ионное травление — Метод используется для установки границ глубоких геометрических конфигураций в кремнии; необходим для формирования структур MEMS. [http://www.cscleansystems.com/glossary.html] Тематики полупроводниковые приборы EN DRIEdeep reactive ion etching …   Справочник технического переводчика

  • Травление в литографии — (англ. etching (development) in lithography)  этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении негативного фоторезиста с необлученных участков или позитивного фоторезиста с облученных участков подложки, покрытой тонкой… …   Википедия

  • травление в литографии — Термин травление в литографии Термин на английском Синонимы Аббревиатуры Связанные термины биомедицинские микроэлектромеханические системы, лаборатория на чипе, фоторезист Определение этап фотолитографического процесса, заключающийся в удалении… …   Энциклопедический словарь нанотехнологий

  • Селективное травление — (или избирательное травление) термин применяющийся для обозначения травления преимущественно одного материала по сравнению с другим, который обладает гораздо меньшей скоростью травления. Иногда применяется при изготовлении гибридных интегральных… …   Википедия

  • décapage ionique réactif — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • reactive ion etching — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • reactive ion milling — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • reaktives Ionenätzen — reaktyvusis joninis ėsdinimas statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas

  • reaktyvusis joninis ėsdinimas — statusas T sritis radioelektronika atitikmenys: angl. reactive ion etching; reactive ion milling vok. reaktives Ionenätzen, n rus. реактивное ионное травление, n pranc. décapage ionique réactif, m …   Radioelektronikos terminų žodynas


Поделиться ссылкой на выделенное

Прямая ссылка:
… Нажмите правой клавишей мыши и выберите «Копировать ссылку»